真空等離子處理儀在一定的真空條件下，對氣體施加能量使其成為等離子狀態(tài)，等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等，通過利用這些活性組分的性質高效清洗微觀和納米級別的表面污垢和有機物。通過使用等離子體處理樣品表面從而實現(xiàn)表面清潔，表面改性，表面刻蝕，表面接枝的目的，最后將污染物轉化為氣態(tài)，并通過真空泵用連續(xù)氣流將其排出。

原裝強效電源：采用原裝高壓激勵電源電路技術，產生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果。

全面安全防護：溫度安全防護功能，過載防護功能，短路斷路報警防護功能，各種誤操作保護功能。

獨有的放電技術：特殊處理及特殊結構的放電裝置，確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。

密封性優(yōu)良的真空腔體設計：高真空度真空腔體設計及制造工藝，配置強力真空泵。

優(yōu)質的產品部件：產品全部部件采用國內外優(yōu)質部件，確保設備性能優(yōu)越。

超低清洗溫度：滿足不同場合溫度要求，不對清洗產品造成溫度影響。

精密數(shù)控加工：進口精美CNC數(shù)控機床加工工藝，并配備進口三坐標測量儀進行質量監(jiān)控。

適用于形狀復雜樣品：清洗各種復雜形狀的產品，包括內孔內壁，均勻清洗。

定制設計 ：可定制40Khz、13.56Mhz、2.45Ghz三種頻率，電極數(shù)量可定制，腔體尺寸可定制。

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